英國肖氏SADP便攜式露點儀在半導體制造中超純氣體水分檢測應用

工藝設備在線監測
將SADP與產線氣體管路連接，實時監測CVD或ALD設備的進氣露點。例如，在硅烷（SiH?）氣體輸送過程中，若露點突然上升至-60℃，可能提示純化器失效，需立即停機檢修。

故障排查與預防性維護
當產線出現良率下降時，使用SADP快速定位氣體水分異常。通過檢測蝕刻氣體中的水分波動，發現某批次氮氣因純化器再生不導致露點超標，及時更換濾芯避免批量報廢。

SADP與其他檢測技術的對比

相較于傳統冷鏡式露點儀，SADP的優勢在于：

無需液氮制冷：冷鏡儀需依賴液氮維持低溫，而SADP采用氧化鋁傳感器，無需外部冷源，操作更安全；

抗污染能力強：半導體氣體中可能含微量腐蝕性雜質，SADP的傳感器表面涂層可減少污染影響，延長校準周期；英國肖氏SADP便攜式露點儀在半導體制造中超純氣體水分檢測應用

• 成本效益高：單臺SADP價格約1-5萬元，遠低于高精度冷鏡儀（通常>10萬元），且維護成本更低。

英國肖氏SADP便攜式露點儀以其高精度、快速響應及本質安全特性，契合半導體制造對超純氣體水分檢測的需求。無論是氣體供應驗證、工藝設備監測還是故障排查，SADP均能提供可靠數據支持，助力半導體工廠提升良率、降低維護成本。隨著芯片制程向3nm及以下推進，SADP的技術價值將進一步凸顯。

英國肖氏SADP便攜式露點儀在半導體制造中超純氣體水分檢測應用請致電英肖儀器儀表（上海）有限公司，英肖儀器儀表（上海）有限公司是進口露點儀品牌英國肖氏SHAW總代理、代表處、肖氏SHAW露點儀售后服務保障。